静電チャック用トレー

静電チャック用トレー

いわきの静電チャック用トレーはクローン力型とラベック力型にも対応

把持対象に引力を与えることにより、所定の位置に固定するツールとして広く使用される静電チャック。その用途は幅広くドライエッチングやCVD (Chemical Vapor Deposition:化学的気相成長)プロセス、ウエハー固定などの半導体をはじめ、半導体ウエハーや金属、フィルム部材の薄物基材の搬送用や保持など、液晶や有機EL、液晶ODF(One Drop Fill:液晶滴下)装置、真空貼り合わせ装置のフラットパネル、固定ツールとしてロボットハンド(エンドエフェクター)の把持機構、さらにはヒーターや冷却機構と組み合わせての温度制御用途など様々な製品や装置で機能しています。静電チャックと同様の使用目的でメカクランプ(Mechanical clamp)や真空チャック(Vacuum chuck)がありますが、特に静電チャックは裏面のみで把持することができるのに加え、真空プロセスでの使用が可能であるため、半導体製造装置やディスプレイ製造装置を中心に採用されています。また、フィルムや薄く破損しやすい部材の搬送やプロセスでの安定した把持のニーズが高まる中、均一把持であり、把持対象にストレスを与えないツールとして、静電チャックの需要が高まっています。


円形製品用トレーの豊富な実績に基づく確かな技術で高精度を実現

静電チャックは、吸着方式の違いによって、誘電体として絶縁材料を使用するクーロン力型をはじめ対象物と誘電体との界面の小さなギャップに微少電流が流れ、帯電分極して誘起されるジョンソン・ラベック力型など様々な種類があります。いわきの専用トレーはクローン力型とジョンソン・ラベック力型のいずれにも対応するとともに、梱包用、輸送用、納品用、保管用、工場工程用、検査用、出荷用など幅広い用途で多くのお客様にご利用頂いています。また、静電チャックは製品の構造上、円形が多く存在しますが、当社はレンズトレーなど円形製品で豊富な実績がありますので、お客様の製品形状に最適な専用トレーをご提案可能です。当社は工業用トレーの専門メーカーとして規格トレーや汎用トレーも多数手がけており、これらの多くの製品データをベースにお客様の個々の製品に見合ったオリジナルトレーをご提供します。


静電気や衝撃などのリスクを最大限軽減し、製品の信頼性を確保

静電チャックは主に電子部品などに用いられ、その名の通り、静電気対策が不可欠となります。その点、当社の工業用トレーは、静電チャック用トレーのみならず全ての電子部品用トレーにおいて静電気対策に万全を期しています。材料シートの表面にカーボンや有機系の導電フィルムを印刷、または練りこんだタイプを取り揃えており、帯電防止と導電性の向上を図っています。その効果は半永久的で表面抵抗値は10の4乗から10の8乗以下です。また、当社は材料群も豊富でPP(ポリプロピレン)シートをはじめ、PET(ポリエチレンテレフタレート)シートやPS(ポリエチレン)シートなどを使用し、製品の特性に合わせて最適な材料をご提案させて頂きます。


金型からの一貫生産により低価格・短納期・柔軟対応を実現します

静電チャックは耐プラズマ性の向上と長寿命化、さらには低パーティクル化を目指してこれまで製品開発が過熱しています。加えて近年は絶縁体での吸着力がこれまで以上に向上した上、ハンドリングしやすいコードレス製品なども開発され、各種機能が高まっています。製品の品質や各種機能を保護するためにも静電チャックをめぐっては、専用オリジナルトレーの重要性が一段と高まっています。当社は真空成型と呼ばれる技術を活用して静電チャック用トレイを制作しています。真空成型は、設計の自由度が高いうえ、製品形状を材料シートに忠実かつ高精度で再現可能なため、静電チャックを確実に支持・保護します。また、真空成形は金型にかかる圧力が小さいため、一度作った金型は長期にわたって使用可能となるため、コスト削減につながります。さらに当社は金型から成形品に至るまで国内自社工場で一貫生産していますので、よりいっそうの低価格・短納期を実現可能です。お問合せ頂ければ、担当スタッフが北海道から沖縄までどこへでもお伺いします。製品を拝見のうえ、お見積りや納品までのスケジュールなどもご案内申し上げます。お電話お待ちしています。


いわきの静電チャック用トレーはここがポイント!

電極に電圧を印加することで、対象物の表面に逆電圧が誘導され、安定した吸着を実現する静電チャック。いわきはお求めやすい価格かつスピーディーな納期で高性能の専用トレーをご提供します。製品のおすすめポイントは次の3つです。

  1. 幅広い静電チャックに対応する専用オリジナルトレー
    いわきの静電チャック用トレーは、誘電体として絶縁材料を使用するクーロン力型をはじめ対象物と誘電体との界面の小さなギャップに微少電流が流れ、帯電分極して誘起されるジョンソン・ラベック力型などに対応します。
  2. リスクとなる静電気や衝撃から製品を確実に保護します
    材料シートの表面にカーボンや有機系の導電フィルムを印刷、または練りこんだタイプを取り揃えており、帯電防止と導電性がアップ。あわせて製品形状に忠実な高精度のトレーポケットが製品を衝撃から確実に保護します。
  3. 自社工場で一貫生産により他社を上回るコスト競争力を実現
    当社は基幹技術である真空成形を駆使しつつ、金型から成形品に至るまで国内自社工場で一貫生産。他社を上回るコスト競争力とスピーディーな納品を実現。試作後のデザイン変更や多品種小ロットもにも柔軟に対応します。